低溫等離子體工業除味設備及技術是利用高頻高壓電場放電產生的新代低溫等離子體技術，它具有高能量和高電子發射密度的特點，其凈化原理如下：
?。?）在放電過程中，電子從電場中獲得能量，并通過非彈性碰撞將能量轉換為污染物分子的內能或動能，獲得能量的分子被催發或電離形成活性基團。當污染物分子獲得的能量大于其分子鍵能的結合能時，污染物分子的分子鍵斷裂，直接分解為單個物質原子或由單個原子組成的無害氣體分子。
?。?）等離子體中含有大量高能電子、正負離子、催發態粒子和具有強氧化性的后型自由基。這些活性粒子與一些廢氣分子碰撞結合，產生大量的Oh、HO2、O等活性自由基和氧化性較強的O3，它們可以與有害氣體分子發生反應，終生成無害產品。
?。?）物理效應表現在帶電除塵中。等離子體中的大量電子與顆粒污染物發生非彈性碰撞，并粘附在其表面使其帶電。在除味設備電場的作用下，顆粒污染物被除塵器收集。
?。?）生物質的作用表現在其消毒和消菌的功能上。機制是：物質中的正負粒子使微生物表面的電切力過干，細胞膜的表面張力過大，導致細胞膜的破壞和微生物的死亡。
在放電過程中，電子從電場中獲得能量，并通過非彈性碰撞將能量轉化為污染物分子的內能或動能。這些獲得的能量分子被催發或電離形成活性基團。同時，空氣中的氧和水也能在高能電子的作用下產生大量新的生態氫、活性氧、羥基氧等活性基團，這些活性基團相互碰撞后，會引發一系列復雜的物理化學反應。從等離子體的活性基團組成可以看出，等離子體富含高度化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和催發分子。廢氣中的污染物與這些活性基團發生高能反應，終端轉化為CO2、H2O等物質，從而使除味設備達到凈化廢氣的目的。
